제품소개
"성실과 신뢰를 바탕으로 기술 창조, 고객과 함께 하는 에이티㈜가 함께 하겠습니다."
IN LINE COATING SYSTEM
ILSR Series
ILSR series는 단일박막 및 다층박막의 연속증착이 가능하도록 구성되어 있으며, 금속 및 반응성 물질이 연속적으로 증착이 가능하도록 구성된 멀티 챔버 구성의 장비입니다. ILSR series는 디스플레이의 TFT 및 Color Filter에 적합하도록 구성이 되어 있습니다.
응용제품 분야
에이티㈜의 ILSR series는 금속물질 혹은 반응성물질로 구분하여 물질을 연속으로 증착할 수 있어 AMOLED 및 LCD 제품에 적용이 가능하며, TFT / Color Filter 공정에 적용이 가능합니다. 또한, 터치제품 분야와 에너지 분야에 생산장비로 적용이 가능합니다.
| 디스플레이 분야 | TFT 및 Color Filter (AMOLED, LCD) |
| 터치제품 분야 | IM-ITO |
| 기타 산업분야 | 신재생에너지 및 태양광에너지 |
장비 사양
에이티㈜의 ILSI series 증착장비 제작 방식은 고객의 생산 제품을 최적의 효율로 생산할 수 있도록 주문자 요청 사양에 기반을 두고 있습니다. 이를 기반으로 아래의 공통 사양을 반영하여 장비 제작 및 공급을 하고 있습니다.
| Chamber 형태 | 수직 및 수평방식의 멀티 챔버 | |||
| 적용기재 | Glass 및 Wafer, 기타 플라스틱 및 금속 기재 | |||
| 기판 크기 | 수직형 | 2,200mm x 2,500mm | ||
| 수평형 | 1,500mm x 1,800mm | |||
| Tact time | 60 sec 이내 (정지성막) 35 sec 이내 (이동성막) |
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| 증착소스 | Sputter Source | Rotary cathode, Planar cathode | ||
| Thermal Source | Crucible, E-beam | |||
| 증착물질 | 금속물질 | Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag 및 기타 금속물질 | ||
| 반응성물질 | TiO2, Nb2O5, SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 및 기타 질화/산화물질 | |||
| Power Supply | DC, Pulse DC, MF | |||
| 두께 균일도 | ±10% 이하 (정지성막) ±5% 이하 (이동성막) |
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| 측정기 | 면저항, 광학(투과율, 반사율, 색차계), 플라즈마방출모니터, RGA | |||